扫描式激光测振仪扫描方式及原理
发布日期:2021-03-18 09:37:39

作为一种高精度线径检测设备,扫描式激光测振仪是一种现代化、自动化的精密测量设备,为了提高测量精度,其扫描物镜也十分重要。Fθ透镜在红外、扫描式激光测振仪得到了广泛的应用,同时对Fθ透镜的扫描性也提出了越来越高的要求,以改善其全视场的扫描性。

基本而言,扫描式激光测振仪由激光器、调制器、偏转器、调整反馈装置、探测器以及将其连接在一起的光学系统组成。各种扫描方式,如光学透镜扫描系统、棱镜扫描系统、全息扫描系统,都可以根据偏转器的不同进行选择。扫描式激光测振仪扫描方式可分为物镜前扫描和物镜后扫描两种。所得到的扫描结果既可以是激光的直接视觉信号输出,又可以转化为电信号输出,还可以通过计算机存储并输出扫描信号。

扫描式激光测振仪是将时间信息转换成可记录的空间信息的系统。通过光调制器调制出某些信息,然后通过光束扫描器和f-θ扭激光聚焦镜在接收器上形成一维或二维的扫描图像。目前已广泛应用于标刻机,导弹跟踪瞄准,激光打印机,传真机,集成电路激光图形发生器等精密激光扫描设备。

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